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SEM加熱樣品臺的詳細資料:
SEM加熱樣品臺
●采用四電極反饋控制系統對加熱區域的樣品進行精準均勻、安全控溫;
●超薄氮化硅膜(10 nm,25 nm,50 nm),不會影響電子信號采集;
●高精度、高頻反饋控溫模式,具有實時溫度控制及精確測量功能,內置絕對溫標, 并可軟件自動標定,對任一芯片的每次升溫過程進行自動校正和模擬出最優的升 溫曲線,而非統計學的擬合曲線加熱,能更好地反映熱場實情并可自定義程序升 溫曲線,設置升溫速度,確保每片芯片每次測量溫度的精確性,不受使用次數的 影響而降低,保證高溫實驗的重復性及可靠性;
●觀測區域全覆蓋;
●升溫快、溫度場穩定且均勻,升溫過程樣品幾乎無漂移;
●CHIP-NOVA提供的SEM加熱樣品臺固體加熱芯片溫度范圍RT~1300℃,以及精準的控溫技術可滿足大多數科學研究的需求。
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